about us
上海凯世通半导体股份有限公司,2009年4月在张江成立,由国际离子注入技术协会终身常务理事——陈炯博士为首的五位国际知名离子注入设备专家创立。该团队所开发的离子注入机全球销售逾千台,代表机型E220/E500,GSD,iStar,iPulsar。
上海凯世通半导体股份公司是一家以离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技企业,也是国内的全领域赛道离子注入机公司,主要研制、生产、再制造和销售国际领先高端离子注入机,重点应用于半导体集成电路领域、光伏太阳能电池和新型平板显示。在集成电路装备领域,离子注入机应用于掺杂这道工序,具有极高的技术门槛,被誉为皇冠上的明珠。
上海凯世通公司围绕国际知名和国家特聘外籍专家,全面构建人才团队,专业涵盖了物理学、半导体技术、材料学、机械工程、自动控制、软件工程等多个技术领域,将长期致力于具有世界领先水平的重大技术装备—离子注入机的研发及产业化,实现代表中国自主创新的半导体装备可持续发展,不断推进中国制造向中国创造的完美转变。
在半导体晶圆制造中,由于纯净硅的导电性能很差,需要加入少量杂质使其结构和电导率发生改变,从而变成一种有用的半导体,这个过程称为掺杂。目前掺杂主要有高温热扩散法和离子注入法两种,离子注入占据着主流地位。
通过离子注入机的加速和引导,将要掺杂的离子以离子束形式入射到材料中去,离子束与材料中的原子或分子发生一系列理化反应,入射离子逐渐损失能量,并引起材料表面成分、结构和性能发生变化,最后停留在材料中,实现对材料表面性能的优化或改变。离子注入具备精确控制能量和剂量、掺杂均匀性好、纯度高、低温掺杂、不受注射材料影响等优点,目前已经成为0.25um特征尺寸以下和大直径硅片制造的标准工艺。
离子注入机与光刻机、刻蚀机和镀膜机并称四大核心装备,开发难度仅次于光刻机。
按下游领域分类,目前离子注入机可用于众多领域,包括集成电路与IGBT制造领域、太阳能电池生产领域、AMOLED面板制造等。
陈炯 博士
浙江大学热能系硕士,美国哥伦比亚大学应用物理学博士。陈炯博士是国际离子注入技术协会终生常务理事,被公认为行业内最有技术创意的领军人物和国际级的离子注入设备专家,他曾以著者或合著者的身份发表论文15篇,拥有16项美国专利。杰弗里•伯克尔博士
获得美国华盛顿大学计算机科学硕士和法学博士(J.D.)学位,在半导体设备自控软件领域有15年以上研发经验,专长于自动化控制和软件,曾主导研发用于OLED封装的关键设备和集成电路用大型离子注入机。洪俊华 博士
拥有英国圣安德路斯大学物理学博士。曾任加拿大国家科学院研究员,并担任国家光电设备课题主要负责人,20多年研究和开发经验。唐纳德•贝里恩博士
拥有美国普林斯顿大学半导体器件物理学博士学位和罗格斯大学电气工程学士学位。有超过40年的顶尖离子注入设备设计研发经验。曾在Varia、Eaton、AIBT等企业成功开发过多款享誉全球的离子注入设备。主导设计E220/500等设备,全球销量最高的离子注入机陈维 博士
清华大学化工学士,美国明尼苏达大学化学博士学位。曾任职于美国道康宁公司,美国Intel公司,任工程技术部经理。在硅材料及半导体封装材料方面有很深的造诣。发展历程
荣誉资质
时间节点 | 关键事件 | 具体内容或经营成果 |
2021年4月 | 集成电路业务展露锋芒 | 凯世通获2020年度上海市集成电路设备业销售前十名的荣誉 |
2020年12月 | 商业化进展重大突破 | 注入机的订单总额超过1亿元人民币 |
2020年9月 | 低能大束流设备客户验证 | 首台低能大束流设备送入国内主要芯片制造工厂 |
2020年10月 | 获得iStellar-500 SEMI认证证书 | 展现了自身接轨国际的的科研能力,为进一步实现技术突破和产品研发奠定了坚实的基础 |
2020年3月 | 荣获北京市科技进步一等奖 | 凯世通的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目荣获北京市科技进步一等奖 |
2020年9月 | 成功入选上海市“科技创新行动计划”项目 | 凯世通的“集成电路设备射频电源系统研发与验证”项目入选上海市2020年度“科技创新行动计划” |
2020年8月 | 重大技术突破 | 凯世通的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目成功斩获2019年度北京市科学技术进步一等奖 |
2020年5月 | 北京凯世通半导体有限公司正式成立 | “南北并举”的布局策略显现,为客户带来更加便捷、高效的服务 |
2019年12月 | 集成电路离子注入机迁机成功 | IC离子注入机搬进杭州湾洁净室,进行晶圆验证 |
2019年10月 | 入选“科技创新行动计划” | 凯世通 “高能离子注入机关键技术研究与样机验证”项目被上海市科委技术委员会列入集成电路领域立项项目清单 |
2019年8月 | 新产品iPV6000发布 | 凯世通自主研发的新品iPV-6000成功推出,进一步提升其在光伏市场的竞争力 |
2018年8月 | 万业企业收购凯世通 | 成为万业企业全资子公司(证券代码:600641) |
2017年7月 | 新品iPV-3000发布 | 凯世通自主研发的新品iPV-3000成功推出。 |
2017年3月 | 凯世通股票挂牌成功 | 2017年3月24日起,凯世通股票在全国股转系统挂牌公开转让。 |
2016年12月 | iPV-2000量产 | 与泰州中来光电科技有限公司签订了设备批量采购协议,真正实现了从研发型企业到生产型高科技企业的成功转型。 |
2013年2月 | 获批上海市战略性新兴产业重大项目 | 由上海市发改委和市科委推荐正式进入自主知识产权的AMOLED离子注入机研发。 |
2012年12月 | IonSolar™离子注入机在电池生产线得以认可 | 基于凯世通的离子注入机及相应的电池制作工艺实现330W电池组件输出功率代表了行业此类电池的的最高水平。 |
2012年8月 | IonSolar™太阳能离子注入机进入客户端 | 凯世通自主研发的太阳能离子注入机IonSolar™进入客户端产线,进行工艺认证。 |
2012年1月 | 获批市科委成果转化和产业化项目 | 作为主承担单位获批上海市科委成果转化和产业化项目,旨在高效晶硅太阳电池用离子注入系统产业化技术开发及应用。 |
2011年12月 | 新产品研发成功 | 具有世界领先水平的太阳能制程用高端离子注入机研发成功。 |
2011年3月 | 获批国家重大科技专项 | 与电子科技集团48所合作,申请并获准国家重大专项立项,研发用于集成电路离子注入机的世界先进大束流束线系统。 |
2011年1月 | 战略伙伴增资 | 获得美国Amtech公司增资 1亿元人民币,进入太阳能电池制程用离子注入机领域。 |
2010年6月 | 盈亏平衡 | 凯世通盈亏平衡。 |
2009年10月 | 战略合作 | 与Axcelis战略合作(世界排名第二离子注入机厂商)研发OHD低能束流的改进。 |
2009年4月 | 凯世通创立 | 由六位世界一流离子注入设备专家创立,共有超过100年研发制造与应用企业的工作经验。 |